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[성명] SK하이닉스반도체 청주공장에서 누출된 감광제는 발암물질 벤젠이 포함된 독성 화학물질이다.
2014.11.13 18:19 515

[2013. 4. 1. 반올림 성명]

SK하이닉스반도체 청주공장에서 누출된 감광제가 유해물질이 아니라고?

삼성 · 하이닉스 반도체 공장에서 사용되는 감광제는 발암물질 벤젠이 포함된 독성 화학물질이다.



SK하이닉스 반도체 청주사업장에서 28일 감광액(PR; 포토레지스트 photoresist)이 라인 내에서 누출되는 사고가 발생했다. 얼마 전 염소가스 누출에 대해 신고를 하지 않아 여론의 뭇매를 맞은 회사측이 또다시 비난을 우려해서인지 이번 감광액 누출사고에는 소방당국에 자진 신고를 했다고 한다. 그러나 직원들의 대피는 없었고 인명피해도 전혀 발생하지 않았다고 했다. 특히 회사측은 이번에 누출된 감광액은 유해화학물질관리법상 유해화학물질이 아니며 단순노출로는 인체에 유해하지 않다고 강조했다. 또 몇몇 언론이 환경부 직원의 말을 인용해 감광액이 유해화학물질이 아니라는 보도까지 서슴없이 내놓고 있다.


그러나 감광액이 인체에 유해하지 않다는 하이닉스측의 주장과 일부 언론사의 기사는 완전히 틀렸다. 감광액 누출사고를 경미한 사고로 보이게 하려는 변명일 뿐이다.


그동안 삼성반도체 등 반도체 공장 노동자들이 백혈병과 암, 생식독성 등의 피해를 호소하면서 작업 중 빈번한 화학물질 노출 경험을 증언해왔다. 그 중 가장 대표적인 화학물질 노출경험이 바로 감광제다. 감광제 병이 깨지는 사고만이 아니라 병이 깨지지 않아도 감광제가 포토공정에서 사용되면서 번져서 나오는 고약한 냄새로 인해 두통과 어지럼증을 경험했다는 노동자가 많다. 노출 당시에 알수 있는 것은 냄새발생과 두통, 어지럼증 정도일수 있으나 감광제를 포함한 많은 화학물질들은 서서히 인체에 영향을 미쳐서 수년이상이 지나서 암이나 여러 질병들을 일으킬 수 있다.


반도체에 회로패턴을 형성하기 위해 포토공정에서 쓰이는 감광제의 주요성분은 수지(페놀, 크레졸, 포름알데히드계, 폴리비닐폐놀계 기타), 감광성성분(기업의 영업비밀로 유지하고 있어 성분파악이 어려움), 용매(감광액 중 가장많은 비중을 차지하고 있고 2-헵타논, 사이클로헥사논, 에틸벤젠, 에틸락테이트, IPA(이소프로필알콜), 1-메톡시-2-프로판올(PGME), 2-메톡시-1-프로판올(β-PGME), 1-메톡시-2-프로필아세테이트(PGMEA), 2-메톡시-1-프로필아세테이트(β-PGMEA) 등), 첨가제 등으로 구성되어 있다.

(물질별 건강영향 참고- 2012. 9. 산업안전보건연구원, ‘반도체 근로자 건강관리 길잡이’)


또한 감광제에 빛을 쬐는 작업과정을 통해서 2차 부산물로 벤젠 등이 발생할 수 있다. 이 외에도 감광제 성분에는 생식독성(생리불순, 자연유산, 임진지연 등), 접촉성 피부염, 직업성 천식, 두통, 구토, 어지럼증 등을 유발하는 독성 물질들이 다수 포함되어 있다.


감광제에 백혈병을 유발하는 벤젠이 있다는 점이 처음으로 밝혀진 것은 2009년 서울대 조사에서다. 2009년 삼성전자·하이닉스·엠코코리아 반도체 3사가 서울대 산학협력단에 ‘반도체 사업장 위험성 평가 자문’을 의뢰한 결과, 삼성전자 반도체 기흥공장에서 쓰는 감광제 샘플 6개 모두에서 백혈병 등을 일으키는 대표적인 발암물질인 벤젠(0.08~ 8.91ppm)이 나왔고, 하이닉스에서는 4개 샘플 가운데 1개에서 벤젠이 검출되었다.

또한, 삼성반도체 노동자 고 황유미, 고 이숙영씨의 백혈병 사망을 산업재해로 인정한 서울행정법원은 판결문에서 "감광공정에서 사용하는 감광제에서 백혈병 위험인자로 잘 알려진 벤젠이 검출되었고, 골수에 악영향을 미치는 2-메톡시에탄올이 검출되기도 하였다." 고 하면서 산재인정의 근거 중 하나로 감광제로 인한 벤젠 노출을 들었다.


이처럼 위험천만한 화학물질 노출사고에 대하여 안전하다고 발표하는 회사측과 일부 언론사들의 잘못된 보도행태는 노동자들의 건강과 생명은 안중에도 없는 행동이다. 특히 회사측은 감광제의 위험성을 이미 서울대 조사와 산업안전보건연구원측의 조사를 통해 잘 알고 있는데도 불구하고 당장 눈에 보이는 인명사고가 발생하지 않은 점에 기대어 안전보건관리에 대한 책임을 회피하려고 하고 있다.


따라서 이제라도 SK하이닉스와 잘못된 보도를 낸 언론사들은 국민과 노동자에게 거짓 정보를 내보낸 책임을 지고 즉시 시정하기 바란다. 또 무엇보다 반도체 공장에서 일하는 노동자들이 안전하고 건강하게 일 할 수 있도록 정부차원의 규제가 필요하다.


특히 반도체 산업에서 쓰이는 수백가지의 화학물질이 기업의 영업 비밀이라는 이유로 공개되지 않고 있는 실정이다. 그러나 노동자의 생명· 건강이 영업비밀보다 우선해야 한다.


미국 연방법에서는 노동자들이 취급하는 모든 화학물질의 이름과 유해성에 대한 알 권리를 부여하고 있고, 또한 지역사회 주민들을 위해 “독성화학물질 배출목록(TRI - Toxic Chemical Release Inventory)”의 보고를 의무화하고 있다. 국제적으로도 2007년 6월 1일부터 발효된 “화학물질 등록·평가·인증·제한 규약(REACH ; Registration, Eval‍uation, Authorisation and Restriction of Chemical substances)”을 통하여 화학물질에 대한 정보 공개에 대한 일차적인 규제를 하고 있다.


반면 우리나라의 경우는 화학물질 노출사고가 발생해도 그 유해성 정보를 알기 힘들다. 기업은 감추고 정부는 눈감는다. 우리나라가 반도체 생산 수출국 1위라는 것만 자랑할 게 아니라 반도체 생산을 위해 땀 흘리는 노동자들의 건강과 생명을 지키기 위한 근본적인 대책을 내놓아야 한다.


2013. 3. 29.


반도체노동자의 건강과 인권지킴이 반올림




[참고] 포토공정에서 노출가능물질에 따른 건강영향

- 반도체 근로자 건강관리 길잡이 (2012. 9. 산업안전보건연구원) 발췌 내용

■ 점막 및 피부 자극

- 이 공정에서 사용되는 대부분의 화학물질과 기타 반응 부산물로 인해 호흡기 점막이나 눈 및 피부 등에 자극증상(눈물, 따가움, 발적19 )등이 나타날 수 있음


※ 호흡기 자극시 기침, 호흡곤란, 천명음(쌕쌕거리는 숨소리), 흉통 등의 증상이 나타날 수

있으며, 심할 경우 폐부종20 이 발생할 수 있음


- 피부접촉에 의한 접촉성 피부염이 발생할 수 있음

※ 작업시 증상이 악화되는 경향을 보임


■ 천식

- 이 공정에서 사용되는 수지류에 의해 기침, 천명음(쌕쌕거리는 숨소리) 등의 증상이 나타날 수 있으며 심할 경우 직업성 천식이 발생할 수 있음

※ 작업시 증상이 악화되고 휴식시 호전되는 경향을 보임


■ 중추신경계 영향

- 유기용제에 고농도 노출시 두통, 구역질, 현기증, 졸림 등의 증상이 나타날 수 있음


■ 생식기계 영향

- 2-메톡시-1-프로판올(β-PGME), 2-메톡시-1-프로필아세테이트(β-PGMEA) 등 글리콜에테르 화합물에 의한 잠재적 생식독성 영향이 있을 수 있음 (생리불순, 자연유산,

임신지연 등)


■ 급성중독

- PM작업시에 유해물질에 의한 급성중독 위험이 있으며, 두통, 구역·구토, 복통 등의 증상이 나타날 수 있음

※ 대만의 전자회사에서 배관을 점검하던 작업자가 누출된 수산화테트라메틸암모늄(TMAH)에 팔, 다리 등이 노출되어 피부화상, 급성 호흡곤란 등으로 사망한 사례가 있으므로 주의해야 함


■ 만성중독

- 신경계 영향 : 각종 유기용제에의 장기적인 노출로 두통, 기억력 감퇴, 피로, 불면증 등의 증상이 나타날 수 있음


■ 포토공정에서 부산물로 미량의 벤젠이 발생할 수 있으며, 벤젠은 백혈병 유발요인으로 알려져 있음


<끝>